拼到第三代 第817章 EUV LLC（2/5）

    极紫外线联盟，缩写是euv llc。

    这是由英特尔和官方牵头的科研组织，从1997年开始就致力于极紫外线光刻机的研发工作，许多欧美企业和机构都加入其中，试图通过技术上的垄断，实现未来二三十年内对市场的控制。

    正如同苏业豪打了水漂的一亿多美元研发资金，极紫外线联盟的研究进展也毫无起色，不过相比起林宝坚博士的团队，它们的实力要更加深厚。

    渐渐的，苏业豪想明白了。

    佳能的光刻机研发团队，跟他之间的合作已经摇摇欲坠，随时有可能破裂。

    佳能公司和尼康公司利用光源采用氟气准分子激光，发出波长157nm附近的真空紫外光，看见了突破193纳米瓶颈的希望，正尝试研发出原型机。

    因此，佳能公司不再需要跟苏业豪合作，态度日渐消极，把人手抽调去搞157纳米的光刻机。

    而彻底打造属于自己的euv光刻机不太现实，缺少庞大的顶级科研团队和成熟的供应链，哪怕钱再多也是白搭。

    即使真的研发出新技术，如何生产也是个难题，所以该合作还是要合作才行。